单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素.本文主要介绍的是在制造单晶炉炉室和屯装配调试过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,从而提高单晶炉设备的性能.
参考文献
| [1] | 许扬.提高单晶炉真空密闭性能的探讨[J].人工晶体学报,2003(05):528-533. |
| [2] | 俞尚知.焊接工艺人员手册[M].上海:上海科学技术出版社,1996 |
| [3] | 达道安;李旺奎.真空设计手册[M].北京:国防工业出版社,1991 |
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