在预涂陶瓷过渡层的多谱段ZnS衬底上沉积金刚石膜的探索研究

人工晶体学报, 2004, 33(1): 105-108. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.023

在预涂陶瓷过渡层的多谱段ZnS衬底上沉积金刚石膜的探索研究

吕反修 ^1, , 高旭辉 ^2, , 郭会斌 ^3, , 陈广超 ^4, , 李成明 ^5, , 唐伟忠 ^6, , 佟玉梅 ^7, , 余怀之 ^8, , 程宏范 ^9, , 杨海 ^10,

1.北京科技大学材料学院,北京,100083

2.北京科技大学材料学院,北京,100083

3.北京科技大学材料学院,北京,100083

4.北京科技大学材料学院,北京,100083

5.北京科技大学材料学院,北京,100083

6.北京科技大学材料学院,北京,100083

7.北京科技大学材料学院,北京,100083

8.北京有色金属研究总院,北京,100088

9.北京有色金属研究总院,北京,100088

10.北京有色金属研究总院,北京,100088

关键词：硫化锌 , 金刚石膜涂层 , 陶瓷过渡层 , 诱导形核 , 微波等离子体CVD

An Exploratory Study on Preparation of Diamond Film Coatings on Multi-spectra ZnS Pre-coated with a Ceramic Interlayer

本文采用真空电子束蒸镀技术在多谱段ZnS衬底上沉积了适合金刚石膜沉积的致密陶瓷过渡层,并利用微波等离子体CVD金刚石膜低温沉积技术进行了金刚石膜沉积研究.发现在陶瓷过渡层上的金刚石形核极其困难,其原因可能是陶瓷涂层在沉积过程中龟裂导致ZnS蒸汽扩散逸出干扰金刚石形核所致.本文采用诱导形核技术在过渡层/ZnS试样表面观察到极高密度(1010/cm2)的金刚石形核,并对金刚石/过渡层/ZnS试样的红外透过特性进行了评价.

参考文献

[1]	Harris D C .Frontiers in Window and Dome Materials[J].SPIE,1995,2552:325.
[2]	Goela J S;Askinazi J[J] .Fabrication of Conformal ZnS Dome by Chemical Vapor Deposition[J].SPIE,1999,3705:227.
[3]	Miller A J;Reece D M;Hudson M D .Diamond Coatings for IR Window Application[J].Diamond and Related Materials,1997,6:386.
[4]	Harris D C.Side-by-side Comparision of Erosion-resistant Coating[J].SPIE,1997:3060.
[5]	Brierley C J;Costello M C;Hudson M D .Bettles T J[J].Diamond Coating for Large Area IR Windows SPIE,1994,2286:308.
[6]	Korenstein R;Goldman L;Hallock R;Ondercin R .Kelly E. Diamond Coated ZnS for Improved Erosion Resistance[J].SPIE,1997,3060:181.

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