高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究

1.中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031

2.中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031

3.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

4.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)

Study on the Super-smooth Surface Polishing of the High Temperature Superconductor Film Substrate LaAlO3 Single Crystal

本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究.既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程,又观察到了超光滑表面加工的结果-表面的本征化.显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性.

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