射频磁控溅射法制备氮化硼薄膜

1.江苏大学材料科学与工程学院,江苏,镇江,212013

2.江苏大学材料科学与工程学院,江苏,镇江,212013

基金项目: 江苏省重点实验室基金(kjsmcx04005)

Deposition of BN Films by Radio Frequency Magnetron Sputtering

采用射频磁控溅射方法在T10钢表面获得了氮化硼薄膜.借助光学显微镜、摩擦磨损试验仪和划痕试验仪等研究了溅射时间、溅射功率以及中间层对薄膜性能的影响.结果表明:氮化硼薄膜的摩擦因数约为钢基材料的一半,中间层镍磷合金的加入使薄膜结合力显著提高.

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