铁电压控谐振器的研究

低温物理学报 , 2005, 27(3): 251-254. doi: 10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.012

铁电压控谐振器的研究

曹春海 ^1, , 徐筱乐 ^2, , 何世明 ^3, , 周建明 ^4, , 刘兴钊 ^5, , 王烨 ^6, , 李言容 ^7, , 李拂晓 ^8,

1.南京电子器件研究所,南京,210016

2.南京电子器件研究所,南京,210016

3.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

4.南京电子器件研究所,南京,210016

5.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

6.南京电子器件研究所,南京,210016

7.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

8.南京电子器件研究所,南京,210016

关键词：铁电材料 , 压控器件 , 微波谐振器

STUDY ON VOLTAGE-CONTROLLED FERROELECTRIC RESONATOR

研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GHz左右,70V偏压下的压控频率范围大于180MHz.在10～40V内,谐振频率与偏置电压之间呈良好的线性关系,谐振器的有载Q值为60～90.

参考文献

[1]	B. Marcilhac;D. G. Crete;Y. Lemaitre;D. Mansart;J. C. Mage;K. Bouzehouane;C. Dolin;E. Jacquet;P. Woodall;J. P. Contour .Frequency agile microwave devices based on Y-Ba-Cu-O/Sr-Ti-O/La-Al-O structure[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity: A Publication of the IEEE Superconductivity Committee,2001(1 Pt.1):438-441.
[2]	B.H. Moeckly;Y.M. Zhang .[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity,2001,11:450.
[3]	E. M. Saenz;G. Subramanyam;F. W. Van Keuls;C. L. Chen,F. A. Miranda .[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity,2001,11:395.
[4]	P. Woodall;K. Bouzehouane;B. Marcilhac;D. G. Crete;E. Jacquet;J. C. Mage;J. P. Contour .Epitaxial YBa{sub}2Cu{sub}3O{sub}(7-δ)/SrTiO{sub}3 heterostructures grown on LaAlO{sub}3 substrate by pulsed laser deposition for voltage tunable microwave filter applications[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity: A Publication of the IEEE Superconductivity Committee,2001(1 Pt.1):1150-1153.

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