制备45°双外延超导结的新工艺

低温物理学报 , 2005, 27(3): 241-245. doi: 10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.010

制备45°双外延超导结的新工艺

李壮志 ^1, , 王福仁 ^2, , 孟树超 ^3, , 马平 ^4, , 聂瑞娟 ^5, , 戴远东 ^6,

1.北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871

2.北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871

3.北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871

4.北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871

5.北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871

6.北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA306412) 国家重点基础研究发展计划(973计划)(G1999064609)

关键词： YBCO薄膜 , 双外延超导结 , 低能离子束

NEW METHOD TO FABRICATE 45°BI-EPITAXIAL SUPERCONDUCTING JUNCTIONS

我们使用脉冲激光沉积方法对YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜在MgO基片上通过CeO2/YSZ双缓冲层的生长进行了系统的研究,发现MgO单晶基片的表面质量是决定能否得到理想外延薄膜质量的关键因素,通过使用低能离子束对MgO表面进行轰击,以增加其表面粗糙度和去除变质层,得到了具有100%面内45°旋转的YBCO外延膜,其临界电流密度77K时在106A/cm2量级.通过湿法刻蚀得到的双外延Josephson结表现出RSJ特性.

参考文献

[1]	H.Hilgenkamp;J.Mannhart .[J].Reviews of Modern Physics,2002,74:485.
[2]	K Char;M S Colclough;S M Garrison;N. Newman, G. Zaharchuk.[J].Applied Physics Letters,1991:733.
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[8]	宋现锋,马玉彬,连贵君,熊光成.钙钛矿结构La0.7Ca0.3MnO3-δ外延薄膜中氧的扩散[J].低温物理学报,2003(03):161-167.

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