超薄单晶基底本征约瑟夫逊结的制备

1.南京大学超导电子学研究所,南京,210093

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4.南京大学超导电子学研究所,南京,210093

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划) 国家重点基础研究发展计划(973计划)(G19990646)

FABRICATIONS OF INTRINSIC JOSEPHSON JUNCTIONS ON ULTRA THIN SINGLE CRYSTALS

为了加强本征约瑟夫逊结(简称本征结)与高频电磁波信号的耦合,我们通过平面工艺手段获得了厚度小于伦敦穿透深度的超薄单晶基底,其厚度小于150nm.并在此基底上利用传统的mesa结构制备工艺制备了本征结.所制备的本征结超导性能没有发生明显的退化,与常规本征结的特性基本一致.

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