CeO2是目前被广泛研究的能与YBCO超导材料有良好晶格匹配的缓冲层材料,溶胶-凝胶法是一种成本低廉的非真空制备薄膜的方法,如果能用这种方法制备质量良好的CeO2薄膜,则可降低YBCO覆膜导体制备的成本.本文通过一种以Ce(NO3)3*6H2O为先驱液相的溶胶体系,在SrTiO3(100)基底上用溶胶-凝胶方法制备了CeO2薄膜.研究了不同热处理温度对CeO2薄膜晶粒生长的影响.为了避免CeO2薄膜表面微裂纹的形成,研究了在烘干和热解过程中所采用的有效方法.利用TGA,DSC,SEM和XRD,对CeO2薄膜的吸热放热过程、表面形貌和相组成进行了分析.结果表明,该溶胶经旋涂、120℃下烘干以及直接300℃热解后,再在600℃下烧结,可制得无裂纹和孔洞、表面质量良好的CeO2薄膜.
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