用双氰胺在乙腈中的溶液作沉积液,以镀有铟锡氧化物(ITO)的导电玻璃为衬底,在阴极上制备了高氮含量的CNx薄膜. XPS分析表明,薄膜最高氮碳原子比N/C为1.22(接近C3N4中氮碳计量比),碳和氮主要以C-N、 CN 的形式成键. FTIR支持XPS的分析结果. 拉曼光谱与大多数报道的氮化碳的拉曼光谱不同,在1 098和1 950 cm-1处有2个明显的峰,前者可归属为C-N,后者可归属为 CN . 在50 ℃、1 250 V下得到的样品薄膜的纳米硬度为11.31 GPa,弹性模量为86 GPa. 提出了极化竞争反应机制,简要的解释了CNx薄膜的沉积过程.
参考文献
| [1] | Suzuki T,Manita Y,Yamazaki T, et al. J Mater Sci[J],1995,30:2 067 |
| [2] | Novikov V P,Dymont V P. Appl Phys Lett[J],1997,70:200 |
| [3] | Wang H,Shen M R,Ning Z Y, et al. Appl Phys Lett[J],1996,69(8):1 074 |
| [4] | Cao C B,Zhu H S,Wang H. Thin Solid Films[J],2000,368:203 |
| [5] | Fu Q,Jiu J T,Cai K, et al. Phys Rev B[J],1999,59:1 693 |
| [6] | Fu Q,Jiu J T,Wang H, et al. Chem Phys Lett[J],1999,301:87 |
| [7] | Cao C B,Wang H,Zhu H S. Diamond Relat Mater[J],2000,9:1 786 |
| [8] | Fu Q,Cao C B,Zhu H S. Mater Lett[J],2000,42:166 |
| [9] | Cao C B,Fu J Y,Zhu H S. Inter J Modern Phys B[J],2002,16:1 138 |
| [10] | Marton D,Boyd K J,Al-Bayati A H, et al. Phys Rev Lett[J],1994,73:118 |
| [11] | Stephen Muhl,Adriana Gaona-Couto,Gonzalo Gonzale, et al. Diamond Relat Mater[J],1998,7:1 605 |
| [12] | Shanna A K,Narayan J. Inter Mater Rev[J],1994,42:137 |
| [13] | Kaufman J H,Metin S,Saperstein D D. Phys Rev B[J],1989,39:13 053 |
| [14] | Yen T Y,Chou C P. Appl Phys Lett[J],1995,67:2 801 |
| [15] | Klotz H-D,Mach R,Oleszak F, et al. Appl Surf Sci[J],2001,179:1 |
| [16] | Widany J,Weich F,Kohler Th, et al. Diamond Relat Mater[J],1996,5:1 031 |
| [17] | Wixom M R. J Am Ceram Soc[J],1990,73:1 973 |
| [18] | George Socrates. Infrared and Raman Characteristic Group Frequencies:Tables and Charts,3rd Edn[M]. Chichester;New York:Wiley,2001 |
| [19] | Oliver W C,Pharr G M. J Mater Res[J],1992,7:1 564 |
| [20] | Sjostrom H,Stafstrom S,Boman M, et al. Phy Rev Lett[J],1995,75:1 336 |
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