通过螯合物分解法、微乳液法、溶胶-凝胶法制备了不同粒径的纳米ZnO粉体. 利用X射线衍射仪、透射电镜对材料的形貌、结构进行了表征. 结果表明,3种ZnO均为六方晶系纤锌矿结构,与其它2种方法比较,微乳液法制备的纳米ZnO粒径较小,为20 nm左右,且分布较集中. 研究了不同制备方法对材料的气敏性能的影响. 在工作温度335 ℃时,螯合物法ZnO和溶胶-凝胶法ZnO对Cl2的灵敏度均低于30,且选择性差. 而微乳液法ZnO对Cl2的灵敏度高达512. 响应时间不到5 s,恢复时间达数分钟.
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