磁控溅射法制备 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜

稀有金属, 2000, 24(6): 470-473. doi: 10.3969/j.issn.0258-7076.2000.06.017

磁控溅射法制备 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜

王小平 ^1, , 刘援 ^2, , 王霈文 ^3, , 冯稷 ^4, , 林晨光 ^5, , 华志强 ^6, , 张朝兴 ^7,

1.北京有色金属研究总院,北京,100088

2.北京有色金属研究总院,北京,100088

3.北京有色金属研究总院,北京,100088

4.香港城市大学物理及材料科学系,香港

5.北京有色金属研究总院,北京,100088

6.北京有色金属研究总院,北京,100088

7.信息产业部第十六研究所,合肥,230043

基金项目: 国家超导技术联合研究开发中心资助项目

关键词：磁控溅射 , 双面超导薄膜 , 性能 , 微结构

Double-Sided YBa2Cu3O7-x Films Deposited by Inverted Cylindrical Magnetron Sputtering

采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较.当 O2:Ar=1:2.5,衬底温度在 800℃时,制备出了高质量的双面超导薄膜.同时对双面超导薄膜进行了微结构分析.用制备的 25mm×20mm 双面膜研制成功中频滤波器,中心频率为1.06 GHz 时,插损为 0.67 dB.

参考文献

[1]	Newman N.;Cole B.F. .Double gun off-axis sputtering of large area YBa/sub 2/Cu/sub 3/O/sub 7- delta / superconducting films for microwave applications[J].IEEE Transactions on Magnetics,1991(2):1276-1279.
[2]	Geerk J;Linker G;Meyer O .[J].Journal of Superconductivity,1992,5:345.
[3]	Berberich P;Assmann W et al.[J].Journal of Alloys and Compounds,1993,195:271.
[4]	Davis M F;Wosik J;Forster K et al.[J].Journal of Applied Physics,1991,69A:7182.

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磁控溅射法制备 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜

Double-Sided YBa2Cu3O7-x Films Deposited by Inverted Cylindrical Magnetron Sputtering

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