热钯丝在硅烷气氛下的奇异行为及其解释

1.北京有色金属研究总院,北京,100088

2.北京有色金属研究总院,北京,100088

Anomalous Behavior of Hot Palladium Wire in Atmosphere of Silane

报道了热钯丝在低压硅烷气氛下的奇异行为, 并给出了初步的解释. 揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因.

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