化合物半导体材料加工中的三废防治

1.北京有色金属研究总院,北京,100088

Three Wastes and Their Treatments in Mechanical Processing of Compound Semiconductors

讨论了GaAs与GaP的毒性、中毒症状和解毒方法, 比较了砷、磷的毒性异同, 提出了在GaAs与GaP材料加工过程中开展三废防治的设想.

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