用真空热蒸镀的方法制备了绿光有机电致发光器件,并对其工艺流程进行了详细的描述.器件结构为ITO/MoO3(x nm)/N,N' diphenyl-N,N'- bis(1 naphthyl)( 1,18- biphenyl)-4,4-diamine(NPB) (40 nm)/tris(8-hydroxyquinoline)aluminum(Alq3)(60 nm)/LiF(1 nm)/Al(150 nm),其中x=0,5 nm.实验中,对ITO基片进行氧等离子体表面处理,能够有效减小ITO表面的接触角.通过对器件的光电性能测试,研究了MoO3作空穴注入层对有机电致发光器件性能的影响.实验结果表明,空穴注入层MoO3的最高占据分子轨道(HOMO)能级较好的与ITO)功函数匹配,降低了空穴注入势垒,提高了器件的发光亮度和效率.当外加电压小于10V时,器件的电流密度随外加电压的增加而增加,但变化不明显；当外加电压大于10V时,器件的电流密度明显增强,发光色度几乎不随驱动电压的改变而改变,色坐标稳定在(0.36,0.55)附近.
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