采用多靶磁控溅射技术,分别利用不同V靶功率和石墨靶功率制备一系列不同V含量和C含量的TiVN和TiVCN 复合膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪,高温摩擦磨损仪研究了TiVN和TiVCN复合膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能.研究表明,当V靶功率为60 W时,TiVN薄膜的硬度达到最大值,为25.02GPa.在此基础上逐渐加入C元素,当石墨靶功率为20 W时,TiVCN薄膜的硬度达到最大值,为28.51GPa.当石墨靶功率进一步增加,薄膜的硬度值开始逐渐降低.室温下,随着石墨靶功率的增加,TiVCN薄膜的摩擦系数逐渐减小.高温下,TiVCN复合膜的摩擦系数随着温度的升高先增加后减小,在700℃时获得最小值,当温度继续升高摩擦系数又增加.讨论了高温下TiVCN复合膜Magnéli相的作用和自适应机制.
参考文献
| [1] | Zhao Y H,Lin G Q,Xiao J Q,Dong C,Wen L S.J Mater Sci Technol,2009; 25:681 |
| [2] | Lin H,Yu J S,Wang N N,Lou S L,Jiang Y D.J Mater Sci Technol,2009; 25:119 |
| [3] | Nong S B,Yu L H,Xu J H.Surf TechnoL 2008; 37:45(农尚斌,喻利花,许俊华.表面技术,2008; 37:45) |
| [4] | Kong M,Hu X P,Dong Y S,Li G Y,Gu M Y.Acta Phys Sin,2005; 54:3374(孔明,胡晓萍,董云杉,李戈扬,顾明元物理学报,2005; 54:3374) |
| [5] | Matthes B,Broszeit E,Kloos K H.Surf Coat Technol,1993; 57:97 |
| [6] | Yang Y L,Zhang D,Kou H S,Liu C S.Acta Metall Sin,2007; 20:210 |
| [7] | Yu D H,Wang C Y,Cheng X L,Zhang F L.Thin Solid Films,2009; 517:4950 |
| [8] | Ho W Y,Hsu C H,Chen C W,Wang D Y.Appl Surf Sci,2011; 257:3770 |
| [9] | Braic M,Balaceanu M,Vladescu A,Zoita C N,Braic V.Thin Solid Films,2011; 519:4092 |
| [10] | Lackner J M,Waldhauser W,Ebner R,Bakker R J,Sch(ō)berl T,Major B.Thin Solid Film,2004; 468:125 |
| [11] | Zhang S,Fu Y Q,Du H J,Zeng X T,Liu Y C.Surf Coat Technol,2003; 162:42 |
| [12] | Chang C L,Hsieh T J.J Mater Process Technol,2009;209:5521 |
| [13] | Abraham S,Choi E Y,Kang N,Kim K H.Surf Coat Technol,2007; 202:915 |
| [14] | Kim K H,Ok J T,Abraham S,Cho Y R,Park I W,Moore J J.Surf Coat Technol,2006; 201:4185 |
| [15] | Zhong D,Sutter E,Moore J J,Mustoe G G W,Levashov E A,Disam J.Thin Solid Films,2001; 398-399:320 |
| [16] | Stueber M,Holleck H,Leiste H,Seemann K,Ulrich S,Ziebert C.J Alloys Compd,2009; 483:321 |
| [17] | Kutschej K,Mayrhofer P H,Kathrein M,Pocik P,Mitterer C.Surf Coat Technol,2005; 200:1731 |
| [18] | Martínez-Martínez D,Sánchez-López J C,Rojas T C,Fernández A,Eaton P,Belin M.Thin Solid Films,2005;472:64 |
| [19] | Ertürk E,Knotek O,Burgmer W,Prengel H G,Heuvel H J,Dederichs H G,St(o)ssel C.Surf Coat Techol,1991; 46:39 |
| [20] | Wang L,Dong S R,You J F,Yu L H,Li X M,Xu J H.Trans Mater Heat Treat,2010; 31:113(汪雷,董师润,尤建飞,喻利花,李学梅,许俊华.材料热处理学报,2010;31:113) |
| [21] | Mayrhofer P H,Hovsepian P E,Mitterer C,Müinz W D.Surf Coat Technol,2604; 177:341 |
| [22] | Li M Z.Master Dissertation,Xi'an Institute of Technology,2010(李铭志西安工业大学硕士学位论文,2010) |
| [23] | Polcar T,Novák R,Siroky P.Wear,2006; 260:40 |
| [24] | Meng J H,Lu J J,Wang J B,Yang S R.Mater Sci Eng,2006; 418:68 |
| [25] | Erdemir A.Tribology Lett,2000; 8:97 |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%