采用等离子体源离子注入和电子回旋共振-微波等离子体辅助化学气相沉积技术相结合的方法在Si衬底上制备出了性能良好的类金刚石膜.通过共聚焦Raman光谱验证了薄膜的类金刚石特性,用原子力显微镜、微摩擦计和扫描电镜等对薄膜的表面形貌、摩擦系数和耐磨损性能进行了表征和测量.结果表明,用离子注入法制备过渡层大大提高了DLC膜与衬底的结合强度,薄膜的表面比较光滑,粗糙度大约为0.198 nm,具有较低的摩擦系数(0.1～0.15),具有较好的耐磨损性能.
参考文献
| [1] | WANG Liding,LIU Chong,Journal of Dalian University of Technology,40(5),505(2000)(王立鼎,刘冲,大连理工大学学报,40(5),505(2000)) |
| [2] | J.M.Sallese, P. Fazan, Sens. Actuators A, 109(3), 186(2004) |
| [3] | R.Bandorf, H.Luthje, T.Staedler, Diamond Relat. Mater., 13, 1491(2004) |
| [4] | J.Robertson, Mater. Sci. Eng. R: Reports, 37, 129(2002) |
| [5] | WANG Weiyuan, WANG Xiaodong, MAO Minyao, YANG Yirong, REN Congxin, XIE Jianfang, Science Bulletin, 44(4), 355(1999)(王渭源,王效东,毛敏耀,杨艺榕,任琮欣,解健芳,科学通报,44(4),355(1999)) |
| [6] | Y.T.Kim, S.M.Cho, W.S.Choi, B.Hong, D.H.Yoon, Surf. Coat Technol., 169～170, 291(2003) |
| [7] | LI Xin, TANG Zhenan, MA Guojia, Chin. Phys. Lett., 20(5), 692(2003) |
| [8] | J.P.Melissa, Diamond Relat. Mater., 3～6, 1053(2002) |
| [9] | F.A.Carlo, Diamond Relat. Mater., 5, 1407(1996) |
| [10] | LI Xiaodong, B.Bhushan, K.Takashima, C.W Baek, Y.K.Kim, Ultramicroscopy, 97, 481(2003) |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%