离子束辅助激光制备织构薄膜的计算机模拟术

材料研究学报, 2001, 15(2): 205-208. doi: 10.3321/j.issn:1005-3093.2001.02.009

离子束辅助激光制备织构薄膜的计算机模拟术

邓玉荣 ^1, , 刘庆华 ^2, , 黄新堂 ^3, , 祁守仁 ^4, , 王又青 ^5,

1.华中师范大学

2.华中师范大学

3.华中师范大学

4.华中师范大学

5.华中科技大学激光技术国家重点实验室

基金项目: 国家自然科学基金(59602004)

关键词：辅助离子束 , 织构 , 薄膜制备 , 计算机模拟

COMPUTER SIMULATION OF ALIGNED FILM PREPARED BY LASER ABLATION WITH ASSISTANT ION BEAM

在离子束辅助激光制备取向薄膜的物理机制基础上.利用计算机模拟了织构薄膜生长的物理过程结果表明,织构薄膜的质量直接与不同取向晶粒被辅助粒子束溅射掉的几率相关,这在实验中表现为与辅助离子束入射方向、离子束能量、薄膜材料种类等因素有关

参考文献

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