消除俄歇电子能谱实验中氧化物表面荷电的新方法

1.北京工业大学

2.Physikalisches Institut,Technische Universitat Clausthal,38678 Clausthal-Zellerfeld,Germany

3.Physikalisches Institut,Technische Universitat Clausthal,38678 Clausthal-Zellerfeld,Germany

基金项目: 教育部科学技术研究项目

A NEW METHOD FOR COMPENSATION OF THE CHARGING OF OXIDES DURING AES

为使俄歇电子能谱有效地用于分析氧化物,引入环境俄歇电子能谱方法.对于消除入射电子束对氧化物表面的损伤-包括荷电现象和氧元素电子受激脱附-6×10-6Pa O2环境比中和电子枪和低能正离子束优越,也比1.3×10-2Pa氩气环境有效.

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