磁控溅射Fe-N薄膜的结构和性能

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基金项目: 国家自然科学基金(19890310)

STRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTIES OF Fe-N FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING

研究了氮流量对磁控溅射Fe-N薄膜的磁性和结构的影响.加氮薄膜的软磁性能明显优于纯铁的.当氮的流量为1.0mL·min-1时,矫顽力Hc达到最小值205A/m.当氮流量为0.8mL.min-1时,饱和磁化强度达到Ms=2.36T.在Fe-N薄膜中未发现γ′-Fe4N和α″-Fe16N2.

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