LiTa308薄膜制备与电性能研究

无机材料学报, 2008, 23(6): 1106-1110. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.06.004

LiTa308薄膜制备与电性能研究

张德银 ^1, , 黄大贵 ^2, , 李金华 ^3, , 李坤 ^4,

1.电子科技大学机电工程学院,成都610054;中国民航飞行学院航空工程学院,广汉618307

2.电子科技大学机电工程学院,成都,610054

3.江苏工业学院信息科学系,常州,213016

4.江苏工业学院信息科学系,常州,213016

基金项目: 国家自然科学基金(60572007) 中国民航飞行学院自然科学基金(J2005-25)

关键词：铁电薄膜 , LiTa3O8 , sol-gel , 铁电性能 , 介电性能

Preparation and Electrical Properties of LiTa3O8 Thin Films

以乙醇锂和乙醇钽为起始反应物,用溶胶一凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了新型钽酸锂LiTa3O8铁电薄膜.经XRD图谱对比,该薄膜结构不同于LiTaO3晶体结构,与正交相结构类似. SEM分析显示经过750℃结晶退火的LiTa3O8薄膜表面均匀平整无裂纹,膜厚约为1μm.实验结果表明,在450kV/cm时,LiTa3O8薄膜剩余极化强度Pr为9.3μC/cm2,矫顽场强Ec为126.8kV/cm;在9.5kV/cm时,LiTa3O8薄膜漏电电流为8.85x10-9A/cm2,比LiTaO3薄膜漏电小;在1kHz时,LiTa3O8薄膜介电常数为58.4,介电损耗为0.26.溶胶-凝胶法制备的LiTa3O8薄膜结晶温度比LiTaO3薄膜高50℃以上.

参考文献

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