利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂,PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd1-xO薄膜,并研究了Zn含量x对ZnxCd1-xO薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响.XRD分析结果表明,当x<0.65时,薄膜为CdO结构,但x>0.65时,薄膜为高度取向的ZnO结构.Hall效应测试显示,当x≤0.5时,薄膜的载流子浓度很高,电阻率为10-3Ω·cm的数量级;迁移率随x增加先增大.在x=0.5处达到极大值,然后随x的增加而降低.紫外可见透射谱表明,掺zn后的ZnxCd1-xO薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率.综合分析结果表明,x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.
参考文献
[1] | Shan F K,Yu Y S.J.Eur.Ceram.Soc.,2004,24 (6):1869-1872. |
[2] | Schmid W,Barsan N,Weimar U.Sensors and Actuators B,2003,89 (3):232-236. |
[3] | Lee Seung-Chul,Lee Jae-Ho,Oh Tae-Sung,et al.Solar Energy Materials and Solar Cells,2003,75 (3-4):481-487. |
[4] | Raghunath Reddy S,Mallik A K,Jawaleker S R.Thin Solid Films,1986,143 (2):113-118. |
[5] | 李巍,靳正国,刘志锋,等(LI Wei,et al).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials),2006,21 (2):473-480. |
[6] | de Carvalho CN,Luis A,Lavareda G,et al.Surface and Coatings Technology,2002,151:252-256. |
[7] | Wonsuk Chung,Michael O.Thompson.Thin Solid Films,2004,460 (1-2):291-294. |
[8] | Yang T L,Zhang D H,Ma J,et al.Thin Solid Films,1998,326 (1-2):60. |
[9] | Fortunato E,Nunes P,Costa D,et al.Vacuum,2002,64(3-4):233-236. |
[10] | Nomura K,Ohta H,Takagi A,et al.Nature,2004,432(7016):488-492. |
[11] | Lee J G,Seol Y G,Lee N E.Thin Solid Films,2006,515(2):805-809. |
[12] | Grego Sonia,Lewis Jay,Vick Erik,et al.Thin Solid Films,2007,515 (11):4745-4752. |
[13] | Zhou Qiang,Ji Zhenguo,Hu Binbin,et al.Materials Letters,2007,61 (2):531-534. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%