以可溶性无机盐为原料,EDTA、柠檬酸、酒石酸为复合螯合剂,水为溶剂,采用改进的溶胶-凝胶法制备了无裂纹、晶粒尺寸小且均匀分布的钙钛矿结构的BaPbO3导电薄膜.利用XRD、SEM和EDS表征方法结合薄膜方阻的测定,具体分析了Pb/Ba比和晶粒生长情况对BaPbO3薄膜导电性能的影响.实验结果表明:Pb/Ba比和晶粒生长情况是决定BaPbO3薄膜导电性的两个主要因素,Pb/Ba比的上升和晶粒的长大,都会提高BaPbO3薄膜的导电性能;热处理次数对BaPbO3薄膜方阻的影响与薄膜厚度有关.在700℃下保温10min的快速热处理方法,可以获得钙钛矿结构、薄膜方阻为5.86Ω·□-1的BaPbOa薄膜.
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