以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相.
参考文献
| [1] | Peshev P, Stambolova I, Vassilev S, et al, Materials Science and Engineering B, 2003, (97): 106-110. |
| [2] | HARTRIDGE A, GHANASHYAM KRISHNA M, et al, International Journal of Modern Physics B, 2000,14 (11): 1239-1248. |
| [3] | 李海滨,等(Li Haibin, et al).清华大学学报(自然科学版)(Tsinghua Univ (Sci&Tech)), 2001, 41 (4/5): 48-50. |
| [4] | 张华山,等(ZHANG Huashan, et al).稀有金属(CHINESE JOURNAL OF RARE METALS), 2001, 25(4):269-272. |
| [5] | 赵桂荣,等(ZHAO Guirong, et al).功能材料(JOURNAL OF FUNCTIONAL METERIALS), 2002, 33(2):207-211. |
| [6] | TOHGE N, SHINMOU K, MINAMI T. Journal of Sol-Gel Science and Technology, 1994, 2: 581-585. |
| [7] | Zhao G, Tohge N. Ceram. Soc. Jpn, 1998, 106 (2): 183-188. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%