膜厚影响SnO2厚膜型气敏元件敏感特性的研究

1.海南师范学院物理系,

2.海南海口科宇电子设备厂,

Study on the Effects of Film Thickness on the Gas-Sensing Properties of SnO2 Thick Film Sensors

采用丝网印刷技术制备不同膜厚Sn02厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度,结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同,阻温曲线也不同.要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件,调整控制膜厚和及其热处理温度至关重要.

[1]	Martinelli G, Carotta M C. Sens Actuators, 1995, B23: 157-161.
[2]	康昌鹤,唐省吾.气温敏感器件及其应用.北京:科学出版社,1988.29-33.
[3]	傅军,林吉,王林茂,等.海南大学学报(自然科学版),2000,2:119-122.
[4]	朱文会,徐克强,颜克球.应用科学学报,1993,11(2):104-108.
[5]	Morrison S Roy. Sensors and Actuators, 1987, 12 (3): 425-440.
[6]	徐廷献.电子陶瓷材料,天津大学出版社,1993.343-350.
[7]	吴柏源,伍建新,汪美玉,等,电子元件与材料,1996,15(5):24-28.
[8]	Anisur Rahman K M, Schneider S C, Seitz M A. J. Am. Ceram. Soc. 1997, 80 (5): 1198-1203.
[9]	傅军(FU Jun).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials), 1999, 14 (6): 951-955.

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