以丙烯为源物质氩气为稀释气体,研究了沉积温度、丙烯流量、系统总压对沉积物形貌的影响. 利用晶体成核-生长理论解释了各种形貌的成因. 实验证明随着沉积温度的升高、系统总压的增大,热解碳的沉积由表面化学反应成核-生长模式向熔滴模式和气相成核-生长模式过渡. 沉积温度不同丙烯流量对沉积模式影响规律不同. 沉积模式随沉积条件的改变决定了热解碳沉积物形貌的改变.
参考文献
| [1] | Walker P L. Chemistry and Physics of Carbon. New York and Basel: Marcel Dekker Inc., 1969. vol. 5 |
| [2] | Coffin L F. J. Am. Cerm. Soc., 1964, 47 (10): 473-478 |
| [3] | Blekkan E A. Carbon 1991, 30 (4): 665-673 |
| [4] | Messier R. J. Appl. Phys., 1985, 58 (10): 3739-3745 |
| [5] | Ananth R. Journal of Crystal Growth 1992, 118: 60-70 |
| [6] | 孟广耀. 化学气相淀积与无机新材料. 北京: 科学出版社, 1984. 116-122 |
| [7] | 崔志武, 孙甬. 超微粒子. 沈阳: 东北工学院出版社, 1989. 191 |
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