溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响

金属学报, 2007, 43(10): 1043-1047. doi: 10.3321/j.issn:0412-1961.2007.10.007

溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响

黄辉 ^1, , 朱明伟 ^2, , 宫骏 ^3, , 孙超 ^4, , 姜辛 ^5,

1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

2.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

3.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

4.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

5.锡根大学材料与表面技术研究所,德国

关键词：溶剂 , 溶胶稳定剂 , 热处理 , 择优取向

EFFECTS OF SOLVENT, SOL STABILIZER AND HEAT TREATMENT ON THE MICROSTRUCTURE OF ZnO FILMS PREPARED BY SOL-GEL DIP COATING

采用溶胶-凝胶法,通过调整溶剂、溶胶稳定剂和热处理工艺在玻璃片上制备出不同工艺参数的ZnO薄膜.利用XRD和SEM考察了ZnO薄膜的择优取向和表面形貌.实验结果表明:采用高沸点溶剂时ZnO薄膜择优取向更强;单乙醇胺为稳定剂时ZnO薄膜择优取向很强,而二乙醇胺或三乙醇胺为稳定剂时择优取向微弱;预处理温度高于ZnO凝胶膜晶化开始温度时择优取向将减弱;最终处理温度在500 ℃以下时,随温度提高,晶粒尺寸增大,择优取向增强.

参考文献

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