在传统平板微热压印中,模具需要反复的加热和冷却,工艺循环时间长,存在微结构成型效率低的缺点.文中创新性地提出一种等温准热压印工艺,可有效解决这一问题.首先在研究此工艺原理的基础上,采用有限元模拟的手段探究聚合物微结构的成型过程.模拟分析可知,聚合物微结构的成型是边冷却边压印的过程,模具温度显著影响微结构的复制精度;而聚合物基片预热温度过高不会提高微结构的复制精度,却增加了脱模缺陷的可能性.模拟得到的规律可为等温准热压印实验工艺参数的选取提供依据.最后通过实验验证了模拟规律的正确性及工艺的可行性.
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