高密度碳酸稀土制备超细抛光粉的研究

稀土, 2015, 36(5): 21-25. doi: 10.16533/J.CNKI.15-1099/TF.201505004

高密度碳酸稀土制备超细抛光粉的研究

周新木 ^1, , 王爱勤 ^2, , 李静 ^3, , 阮桑桑 ^4, , 李永绣 ^5,

1.南昌大学化学学院,江西南昌,330031

2.南昌大学化学学院,江西南昌,330031

3.南昌大学化学学院,江西南昌,330031

4.南昌大学化学学院,江西南昌,330031

5.南昌大学化学学院,江西南昌,330031

基金项目: 中物院超精密加工技术重点实验室开放基金项目(KF13005)

关键词：化学机械抛光 , 高密度碳酸稀土 , 高温爆裂法 , 超细抛光粉

Study of Superfine Polishing Powder Prepared by High Density Rare Earth Carbonate

Keywords： chemical mechanical polishing , rare earth carbonate with high density , high temperature decrepitation method , superfine polishing powder

以高浓度稀土料液为原料,高温下制备的稀土碳酸盐为高密度碱式碳酸稀土,然后以高密度碳酸稀土为原料,采用高温爆裂法制备超细稀土抛光粉.通过SEM、粒度测定、抛光测定对样品进行表征.研究了不同的煅烧模式、爆裂温度、老化时间和老化温度对稀土氧化物形貌、粒度和性能的影响.结果表明:高密度碱式碳酸稀土在900℃～950℃高温爆裂、900℃～1000℃老化3h～4h,得到粒径D50为290 nm左右,分散性、抛光效果较好的超细稀土抛光粉,并可实现超细稀土抛光粉工业化生产.

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Study of Superfine Polishing Powder Prepared by High Density Rare Earth Carbonate

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