Ag-B靶材热压制备及致密化过程研究

稀有金属, 2016, 40(10): 1038-1044. doi: 10.13373/j.cnki.cjrm.XY15032701

Ag-B靶材热压制备及致密化过程研究

曹子宇 ^1, , 刘宇阳 ^2, , 桂涛 ^3, , 白雪 ^4, , 杨磊 ^5, , 王星明 ^6,

1.北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京,100088

2.北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京,100088

3.北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京,100088

4.北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京,100088

5.北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京,100088

6.北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京,100088

基金项目: 国家自然科学基金项目(31201)资助

关键词：银硼靶材 , 热压烧结 , 微观结构 , 致密化

Preparation of Ag-B Target by Hot Pressing and Densification

Keywords： Ag-B target , hot press sintering , microstructure , densification

以化学组成Ag∶B=93∶7(质量比)的混合粉体为原料,采用热压烧结制备Ag-B靶材.通过阿基米德法测量靶材密度、扫描电镜(SEN)观察靶材断面形貌、X射线衍射仪(XRD)分析物相、差示扫描量热法(DSC)分析粉体相变,研究了热压工艺对靶材致密度和微观组织的影响,并探讨了Ag-B靶材的致密化过程.结果表明:Ag-B粉体在升温至1000℃过程中,Ag,B之间未形成固溶体或金属间化合物,但B的加入降低了Ag-B粉体的熔化潜热;在450～ 750℃温度范围内,温度升高靶材相对密度从81.8％增加至95.3％;烧结温度超过750℃后,出现“反致密化现象”,800℃时靶材相对密度下降至89.2％;Ag-B靶材的相对密度随着热压压力、保温保压时间的增加而增加;相比较而言,烧结温度和保温保压时间是Ag-B靶材致密化的主要因素;在烧结温度750℃、保温保压时间120 min、压强28 MPa条件下,Ag-B靶材致密度达到95.3％.

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