采用旋转涂覆法在被氧化的硅基底片上形成掺铝氧化锌(AZO)薄膜,再经过真空烘干后制成AZO-SiO2-Si金属氧化物-氧化物-半导体材料样品.使用波长785 nm、功率5 mW的激光在二维方向上扫描样品,绘制出侧向光伏与激光照射点的关系曲线图,研究其二维侧向光伏效应.激光沿一定轨迹扫描金属氧化物-氧化物-半导体结构样品后,利用Origin软件将测得的实验数据拟合成实验结果图.为了更深层次的研究AZO-SiO2-Si结构中的侧向光伏效应,根据电子跃迁、载流子扩散和能带结构理论,结合前人的研究成果建立物理模型.研究显示,作为一种新型的高精度传感器,样品电极点连线区间内测得的侧向光伏曲线灵敏度为90.35 mV·mm-1、线性相关系数为0.9987,因而AZO-SiO2-Si结构可以用作高精度位移传感器(PSD).实验结果显示激光扫描线偏离电极连线时,线性相关系数和灵敏度都会减小.在垂直于电极连线方向上,虽然侧向光伏曲线没有良好的线性相关性和较高的灵敏度,却具有高度的对称性,AZO-SiO2-Si结构可以用作距离校准传感器(RCD).
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