化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑材料的研究进展

机械工程材料, 2015, (11): 7-13. doi: 10.11973/jxgccl201511002

化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑材料的研究进展

蔡伟 ^1, , 王聪 ^2, , 方小红 ^3, , 陈小源 ^4, , 杨立友 ^5,

1.中国科学院上海高等研究院，薄膜光电工程技术研究中心，上海 201210; 中国科学院大学，北京 100049

2.中国科学院上海高等研究院，薄膜光电工程技术研究中心，上海 201210

3.中国科学院上海高等研究院，薄膜光电工程技术研究中心，上海 201210

4.中国科学院上海高等研究院，薄膜光电工程技术研究中心，上海 201210

5.中国科学院上海高等研究院，薄膜光电工程技术研究中心，上海 201210

基金项目: 上海市科委院地合作项目(13DZ1106000) 中国科学院国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目

关键词：石墨烯 , 化学气相沉积 , 支撑材料 , 转移技术

Progress in Transfer Technologies and Related Supporting Materials for Graphene Film Synthesized by Chemical Vapor Deposition

Keywords： graphene , chemical vapor deposition (CVD) , supporting material , transfer technology

根据化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移过程中支撑物的不同，将转移方法分为聚合物支撑法、非聚合物支撑法以及无支撑法，重点对聚合物支撑法用支撑材料进行了分析，并对相关的转移技术进行较完整的总结，并指出了未来的研究方向。

The transfter technologies for graphene film synthesized by chemical vapor deposition are divided into polymer support,non-polymeric support and unsupported methods according to different supporting materials. The supporting materials in polymer support method are emphatically analyzed and related supporting technologies are summarized,and the research directions in future are pointed.

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