垂直定向碳纳米管的化学气相沉积法制备及其应用进展?

材料导报, 2016, 30(21): 27-32. doi: 10.11896/j.issn.1005-023X.2016.21.005

垂直定向碳纳米管的化学气相沉积法制备及其应用进展?

李克训 ^1, , 马江将 ^2, , 赵亚丽 ^3, , 周必成 ^4, , 江波 ^5,

1.中国电子科技集团公司第三十三研究所，太原 030006; 电磁防护材料及技术山西省重点实验室，太原 030006

2.中国电子科技集团公司第三十三研究所，太原 030006; 电磁防护材料及技术山西省重点实验室，太原 030006

3.中国电子科技集团公司第三十三研究所，太原 030006; 电磁防护材料及技术山西省重点实验室，太原 030006

4.中国电子科技集团公司第三十三研究所，太原 030006; 电磁防护材料及技术山西省重点实验室，太原 030006

5.中国电子科技集团公司第三十三研究所，太原 030006; 电磁防护材料及技术山西省重点实验室，太原 030006; 中国电子科技网络信息安全有限公司，成都 610093

基金项目: 山西省科学基金项目(2014021020-1,2015021083)

关键词：垂直定向碳纳米管 , 化学气相沉积 , 传感器 , 场发射

Advances in Fabrication and Application of Vertically Aligned Carbon Nanotubes by Chemical Vapor Deposition

Keywords： vertically aligned carbon nanotubes , CVD , sensor , field emission

垂直定向碳纳米管独特的结构和性能使其成为碳纳米管领域的研究热点，而可控制备是其重点研究方向之一。概述了近年来垂直定向碳纳米管的常用制备方法(热化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积)及其影响因素，以及垂直定向碳纳米管在热界面、光电、场发射和传感器方面的研究进展，重点介绍了一些具有优异性能的研究领域以及存在的问题。

Vertically aligned carbon nanotubes have recently attracted many researchers′interest in carbon nanotubes field due to its unique structure and excellent properties,and the controllable preparation is one of the most important research frontiers.This paper reviews on the preparation method and its influencing factors of aligned car-bon nanotube arrays by thermal chemical vapor deposition (TCVD)and plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD),as well as the application progress about vertically aligned carbon nanotubes in thermal interface,photoe-lectric,field emission and sensor regions,focusing on the research field with the excellent performance and challenges.

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