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量子电子学报 , 2017, 34(3): 272-277.
10.3969/j.issn.1007-5461.2017.03.003
凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验研究

姚劲刚 1, , 郑列华 2, , 郝沛明 3,

1.中国科学院上海技术物理研究所公共技术室,上海 200083;中国科学院大学,北京 100049;
2.中国科学院上海技术物理研究所公共技术室,上海,200083;
3.同济大学物理系,上海,200083
为实现小口径Hindle透镜对大口径凸非球面的高精度检测,提出了一种新的凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验方法,通过加入无光焦度校正透镜有效解决了传统Hindle检验的不足.对口径180mm、半径380mm、偏心率2.8的凸非球面进行了设计分析,分别给出了不同光焦度分配及不同无光焦度双透镜间距时系统的残余波像差曲线图,得出较优的系统残余波像差为0.0006λ,验证了该方法的可行性.
引用： 姚劲刚, 郑列华, 郝沛明 凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验研究. 量子电子学报 , 2017, 34(3): 272-277. doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2017.03.003
参考文献：

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