李磊 ^1, , 段力 ^2, , 秦格华 ^3, , 马德川 ^4, , 王云生 ^5, , 陶闻钟 ^6, , 陈尚荣 ^7, , 卢学良 ^8, , 刘民 ^9, , 张亚非 ^10,

1.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240;
2.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240;
3.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240;
4.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240;
5.江苏利达高科特种材料有限公司,江苏 常熟,215506;
6.江苏利达高科特种材料有限公司,江苏 常熟,215506;
7.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240;
8.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240;
9.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240;
10.上海交通大学 电子信息与电气工程学院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200240