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液晶与显示 , 2017, 32(5): 339-343.
10.3788/YJYXS20173205.0339
高性能钆铝锌氧薄膜晶体管的制备

董俊辰 1, , 郁文 2, , 李慧津 3, , 韩德栋 4, , 张盛东 5, , 张兴 6, , 王漪 7,

1.北京大学 微电子学研究院,北京,100871;
2.北京大学 微电子学研究院, 北京 100871;北京大学 深圳研究生院, 广东 深圳 518055;
3.北京大学 微电子学研究院,北京,100871;
4.北京大学 微电子学研究院,北京,100871;
5.北京大学 微电子学研究院, 北京 100871;北京大学 深圳研究生院, 广东 深圳 518055;
6.北京大学 微电子学研究院,北京,100871;
7.北京大学 微电子学研究院,北京,100871
本文研究并制备了钆铝锌氧薄膜和以钆铝锌氧为有源层的薄膜晶体管.钆铝锌氧薄膜材料的光致发光光谱和透过率说明钆铝锌氧薄膜在透明显示方向的应用潜力.透射电子显微镜揭示了钆铝锌氧薄膜的非晶态微观结构.钆铝锌氧薄膜晶体管显示了良好的转移特性和输出特性.器件开关比大于105、饱和迁移率约为10 cm2·V-1·s-1.实验结果表明,钆铝锌氧薄膜可用作氧化物薄膜晶体管的有源层材料;钆铝锌氧薄膜晶体管可作为像素电路的驱动器件.
引用： 董俊辰, 郁文, 李慧津, 韩德栋, 张盛东, 张兴, 王漪 高性能钆铝锌氧薄膜晶体管的制备. 液晶与显示 , 2017, 32(5): 339-343. doi: 10.3788/YJYXS20173205.0339
参考文献：

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