液晶与显示 , 2017, 32(4): 269-274.
10.3788/YJYXS20173204.0269
TFT-LCD Stage Mura的研究与改善

肖洋 1, , 周鹏 2, , 闫润宝 3, , 郑云友 4, , 齐勤瑞 5, , 魏崇喜 6, , 章旭 7, , 张然 8,

1.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176;
2.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176;
3.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176;
4.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176;
5.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176;
6.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176;
7.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176;
8.北京京东方显示技术有限公司,北京,100176

TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura,影响液晶显示器的品质,经过图形匹配,缺陷与曝光机机台形貌匹配.通过对异常区域特性分析,发现异常区域的BM CD、BM 像素间距存在异常.对原因进行模型分析:玻璃在曝光机基台上局部区域发生弯曲,曝光距离变短,致使BM PR受光区域变小,BM CD会偏小,进而导致区域性透过光不均一产生Mura;玻璃弯曲后BM 像素间距相对于设计位置也会发生变化,从而导致漏光产生Mura.经过实验验证,BM CD和像素间距的偏差主要由机台凸起导致glass弯曲引起,可以通过降低吸附压力和研磨机台,来改善CD差异和像素间距偏移,同时像素间距偏移漏光,也可以通过增加CD来改善.最终通过BM CD增加、研磨机台和降低吸附压力措施,Stage Mura不良率由10.05%下降至0.11%.
引用: 肖洋, 周鹏, 闫润宝, 郑云友, 齐勤瑞, 魏崇喜, 章旭, 张然 TFT-LCD Stage Mura的研究与改善. 液晶与显示 , 2017, 32(4): 269-274. doi: 10.3788/YJYXS20173204.0269
参考文献:

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