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表面技术 , 2017, 46(6): 102-109.
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.016
硬质多元氮化物薄膜研究进展

赵彦辉 1, , 徐丽 2, , 于海涛 3, , 赵升升 4, , 刘占奇 5, , 于宝海 6,

1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016;
2.中国科学院金属研究所,沈阳,110016;
3.中国石油天然气股份有限公司吉林石化分公司乙烯厂,吉林,132021;
4.深圳职业技术学院,广东 深圳,518055;
5.中国科学院金属研究所,沈阳,110016;
6.中国科学院金属研究所,沈阳,110016
综述了硬质多元氮化物薄膜的研究进展,主要是从硬质薄膜的发展历程上,介绍了每一代薄膜的产生及其特点.同时介绍了硬质多元氮化物薄膜的结构及其性能特点.着重从如何提高薄膜硬度和韧性方面进行了详细介绍,对几种硬化机制进行了论述,包括晶粒细化、晶界强化、固溶强化及离子轰击/应力硬化.同时还介绍了提高薄膜韧性的方法,包括引入一个韧性相(包括金属相)、利用相变韧化、引入压应力韧化、优化涂层结构等.同时还指出,硬度和韧性都是硬质薄膜获得实际应用的重要指标.单纯追求高硬度或高韧性是不可取的,因为硬质薄膜一般脆性较大,而韧性好的薄膜却缺乏足够的硬度.从工程应用的角度来说,既要得到较高的硬度,而且韧性不能损失太多.最后指出,今后的发展方向要将硬化和韧性的研究集中在纳米尺度上,即如何在纳米尺度上进一步理解薄膜的变形.
引用： 赵彦辉, 徐丽, 于海涛, 赵升升, 刘占奇, 于宝海 硬质多元氮化物薄膜研究进展. 表面技术 , 2017, 46(6): 102-109. doi: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.016
参考文献：

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