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表面技术 , 2017, 46(4): 258-263.
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.04.042
大粒径SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石试验研究

王洁 1, , 袁巨龙 2, , 吕冰海 3, , 吕迅 4, , 曹霖霖 5, , 彭超飞 6,

1.浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州310014;杭州职业技术学院 友嘉机电学院,杭州310018;
2.浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州,310014;
3.浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州,310014;
4.浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州,310014;
5.浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州,310014;
6.浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州,310014
目的 验证大粒径(>30μm)SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石晶片的有效性,优化磨具配方,为实现蓝宝石晶片高效、高质量、低成本加工提供有效参考.方法 制作不同配方的氯氧镁结合剂SiO2固结磨具加工蓝宝石,以去除率、表面粗糙度为评价指标,研究磨粒粒度、结合剂比例、磨粒含量对加工效果的影响.结果 6种不同粒径(均>30μm)的SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石,表面粗糙度均有改善,粒径越小,改善效果越好.结合剂中,活性MgO、MgCl2和H2O三者的摩尔比会影响去除率和粗糙度.磨具磨粒的含量高,去除率高,粗糙度小.结论氯氧镁结合剂中,活性MgO:MgCl2:H2O的摩尔比为7:1:16,325#SiO2为磨粒,磨粒质量占结合剂质量的60%,制作磨具加工蓝宝石,转速210 r/min,加载0.4 MPa,加工3 h,去除率为平均17μm/h,表面粗糙度Ra由初始平均345 nm改善至平均9 nm.
引用： 王洁, 袁巨龙, 吕冰海, 吕迅, 曹霖霖, 彭超飞 大粒径SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石试验研究. 表面技术 , 2017, 46(4): 258-263. doi: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.04.042
参考文献：

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