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表面技术 , 2017, 46(2): 77-86.
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.02.012
铁酸铋薄膜退火工艺研究进展

蔡雯馨 1, , 高荣礼 2, , 符春林 3, , 蔡苇 4, , 邓小玲 5, , 陈刚 6,

1.重庆科技学院 冶金与材料工程学院,重庆,401331;
2.重庆科技学院 冶金与材料工程学院,重庆,401331;
3.重庆科技学院 冶金与材料工程学院,重庆,401331;
4.重庆科技学院 冶金与材料工程学院,重庆,401331;
5.重庆科技学院 冶金与材料工程学院,重庆,401331;
6.重庆科技学院 冶金与材料工程学院,重庆,401331
铁酸铋(BFO)多铁性材料因具有丰富的物理性能,以及其在存储器、传感器、电容器、光伏器件等方面的广阔应用前景,在过去几十年一直受到广泛的关注.然而,由于Bi元素在高温下容易挥发,所以很难合成纯相的BFO薄膜.此外,因存在氧空位或由于Fe离子变价导致的非化学计量比等缺陷,使其漏电流密度较大,严重影响BFO薄膜的铁电性能及实际应用.退火工艺是影响材料微结构及宏观性能的重要因素,因此通过退火工艺来调控BFO薄膜的结构及性能是一种十分有效的手段.然而,退火工艺包括退火时间、退火气氛、退火温度以及退火方式等多种形式,究竟每一种退火形式如何影响BFO薄膜的结构及性能是值得探讨的问题.为此,综述了退火工艺(括退火时间、退火气氛、退火温度以及退火方式)对BFO薄膜的结构(晶粒尺寸、形状,电畴尺寸、类型,表面形貌)和性能(磁性、铁电性、介电性、漏电性、导电机制)的影响的研究进展,并提出了一些亟待解决的问题.
引用： 蔡雯馨, 高荣礼, 符春林, 蔡苇, 邓小玲, 陈刚 铁酸铋薄膜退火工艺研究进展. 表面技术 , 2017, 46(2): 77-86. doi: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.02.012
参考文献：

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