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表面技术 , 2017, 46(1): 93-99.
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.016
MoS2-Zr复合薄膜的摩擦学性能研究

欧文敏 1, , 韦春贝 2, , 代明江 3, , 侯惠君 4, , 林松盛 5, , 邱万奇 6,

1.华南理工大学 材料科学与工程学院,广州 510640;广东省新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室 广东省现代表面工程技术重点实验室,广州 510651;
2.广东省新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室 广东省现代表面工程技术重点实验室,广州,510651;
3.广东省新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室 广东省现代表面工程技术重点实验室,广州,510651;
4.广东省新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室 广东省现代表面工程技术重点实验室,广州,510651;
5.广东省新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室 广东省现代表面工程技术重点实验室,广州,510651;
6.华南理工大学 材料科学与工程学院,广州,510640
目的 改善MoS2薄膜的疏松结构,提高其硬度及摩擦磨损性能.方法 采用离子源辅助磁控溅射技术在GCr15基体上沉积不同Zr含量的MoS2-Zr复合薄膜,通过SEM分析薄膜的表面及截面形貌.采用EDS检测薄膜的成分,采用显微维氏硬度计测试薄膜的硬度,采用Rockwell-C硬度计进行压痕测试实验,采用球-盘式旋转摩擦磨损试验机评价薄膜的摩擦磨损性能.结果 MoS2-Zr复合薄膜的致密程度和硬度随着Zr含量的增加而增大,其硬度值为300~500HV.复合薄膜与基体的结合力随着Zr含量的增加而增强,但当Zr含量过高时,结合力下降.含Zr原子数分数为15%的MoS2-Zr复合薄膜具有最好的摩擦学性能,其平均摩擦系数为0.09,磨损率为9.33×107mm3·N–1·m–1,耐磨寿命达5.25×105 r.结论 Zr的掺杂改善了纯MoS2薄膜的疏松结构,提高了MoS2薄膜的硬度和结合力,合适的Zr掺杂可以获得较低的摩擦系数和较长的耐磨寿命.
引用： 欧文敏, 韦春贝, 代明江, 侯惠君, 林松盛, 邱万奇 MoS2-Zr复合薄膜的摩擦学性能研究. 表面技术 , 2017, 46(1): 93-99. doi: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.016
参考文献：

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