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表面技术 , 2017, 46(1): 64-68.
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.011
等离子体刻蚀前处理对碳基薄膜结合力的影响

李振东 1, , 詹华 2, , 王亦奇 3, , 汪瑞军 4, , 王伟平 5,

1.中国农业机械化科学研究院,北京,100083;
2.中国农业机械化科学研究院,北京,100083;
3.中国农业机械化科学研究院,北京 100083;北京金轮坤天特种机械有限公司,北京 100083;
4.中国农业机械化科学研究院,北京 100083;北京金轮坤天特种机械有限公司,北京 100083;
5.中国农业机械化科学研究院,北京 100083;北京金轮坤天特种机械有限公司,北京 100083
目的 通过等离子刻蚀处理使基体表面更洁净,从而提高薄膜与基体的结合力.方法 采用阳极层离子源,通过不同的离子源功率和处理时间对M50轴承钢样品进行处理,并在处理过的样品表面制备钨掺杂类金刚石薄膜.利用原子力显微镜对等离子刻蚀处理前后的样品表面形貌进行研究,利用Raman光谱分析薄膜的微观结构,利用划痕仪对薄膜与基体的结合力进行研究.结果 不同的离子源功率和刻蚀时间,得到了不同的基体微观表面粗糙度;钨掺杂类金钢石薄膜的D峰和G峰分别在1350 cm?1附近和1580 cm?1附近,为典型的类金刚石结构,ID/IG值在1.5左右;未经等离子刻蚀前处理样品的膜/基结合力是23 N;而优化等离子刻蚀前处理参数样品的膜/基结合力高达69 N,最佳的离子源功率和刻蚀时间为2 kW、60 min.结论 等离子刻蚀前处理能够有效提高薄膜与基体的结合力.
引用： 李振东, 詹华, 王亦奇, 汪瑞军, 王伟平 等离子体刻蚀前处理对碳基薄膜结合力的影响. 表面技术 , 2017, 46(1): 64-68. doi: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.011
参考文献：

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