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表面技术 , 2017, 46(1): 29-35.
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.005
电弧离子镀工艺参数对NiCoCrAlYTa涂层沉积的影响

谢世明 1, , 代明江 2, , 林松盛 3, , 侯惠君 4, , 石倩 5, , 邱万奇 6, , 汪云程 7,

1.华南理工大学 材料科学与工程学院,广州 510640;广东省新材料研究所,现代表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广州 510651;
2.广东省新材料研究所,现代表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广州 510651;
3.广东省新材料研究所,现代表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广州 510651;
4.广东省新材料研究所,现代表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广州 510651;
5.广东省新材料研究所,现代表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广州 510651;
6.华南理工大学 材料科学与工程学院,广州,510640;
7.中国南方航空工业(集团)有限公司,湖南 株洲,412000
目的 研究工艺参数中的气压、偏压、弧电流对该涂层沉积速率、组织结构、成分的影响.方法 采用电弧离子镀技术,利用正交试验改变气压、偏压、弧电流三种工艺参数,在镍高温合金上制备NiCoCrAlYTa涂层,借助SEM分析涂层的截表面形貌,EDS检测涂层成分,金相显微镜检测涂层的孔隙率,3D轮廓仪测量涂层厚度.结果 弧电流对沉积速率的影响最大,其次为偏压,最小的是气压;偏压对涂层孔隙率的影响最大,其次为气压,最小的是弧电流.随着偏压的增大,涂层由柱状结构转变成层状结构.随着电流增大,涂层表面大颗粒数量先增后减.涂层成分相对靶材成分都发生了离析,涂层中的Ni、Al含量较靶材的下降,Co、Cr含量较靶材的上升,并且随着偏压的增大,成分离析加剧;随着电流的增加,成分离析先加剧后减弱;气压对成分离析的影响不明显.结论 低气压和高电流有利于提高涂层的致密性,并减弱涂层成分的离析,减少涂层中重要元素Al的流失.实验得出的最优工艺为气压0.5 Pa,电流110 A,偏压可根据性能检测进一步优化.
引用： 谢世明, 代明江, 林松盛, 侯惠君, 石倩, 邱万奇, 汪云程 电弧离子镀工艺参数对NiCoCrAlYTa涂层沉积的影响. 表面技术 , 2017, 46(1): 29-35. doi: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.005
参考文献：

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