㒄
㐴
表面技术 , 2017, 46(1): 9-14.
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.002
磁过滤阴极弧法制备CrCN薄膜结构与组分研究

王浩琦 1, , 覃礼钊 2, , 官家建 3, , 李彬 4, , 林华 5, , 李元 6, , 梁宏 7, , 廖斌 8,

1.西南大学 材料与能源学部,重庆,400715;
2.西南大学 材料与能源学部,重庆,400715;
3.西南大学 材料与能源学部,重庆,400715;
4.西南大学 材料与能源学部,重庆,400715;
5.西南大学 材料与能源学部,重庆,400715;
6.西南大学 材料与能源学部,重庆,400715;
7.北京师范大学 射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京,100875;
8.北京师范大学 射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京,100875
目的 通过磁过滤阴极弧沉积技术制备质量优异的CrCN涂层.研究乙炔/氮气混合气体流量以及基底偏压对薄膜结构和成分的影响.方法 采用磁过滤真空阴极弧沉积技术,在20~100 mL/min变化的乙炔/氮气混合气体流量参数下沉积CrCN复合薄膜.通过X射线衍射、场发射电子显微镜、扫描探针显微镜、X射线光电子能谱仪、透射电镜,对薄膜的物相结构和形貌进行分析.结果 随着气体流量的增加,CrCN复合薄膜的晶粒逐渐减小最终向非晶化转变.TEM结果表明,在CrCN复合薄膜中有大量几纳米到十几纳米的纳米晶浸没在非晶成分中.SPM表明,随着基底偏压由–200 V增大到–150 V,CrCN薄膜的表面粗糙度Sa由0.345 nm上升至4.38 nm.XPS、TEM和XRD数据表明,薄膜中Cr元素主要以单质Cr、CrN以及Cr3C2的形式存在.结论 采用磁过滤真空阴极弧沉积技术制备的CrCN复合薄膜具有纳米晶-非晶镶嵌结构.该方法沉积的CrCN薄膜的表面粗糙度与基底负偏压有关.混合气体的流量变化对薄膜组分的变化几乎无影响.
引用： 王浩琦, 覃礼钊, 官家建, 李彬, 林华, 李元, 梁宏, 廖斌 磁过滤阴极弧法制备CrCN薄膜结构与组分研究. 表面技术 , 2017, 46(1): 9-14. doi: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.002
参考文献：

相似文献: