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无机材料学报, 2017, 32(4): 413-417.
10.15541/jim20160357
磁控溅射法制备的CdS∶Al薄膜的性质研究

王佛根 1, , 陈蕴璐 2, , 任胜强 3, , 张家远 4, , 武莉莉 5, , 冯良桓 6,

1.四川大学 材料科学与工程学院,成都,610064;
2.四川大学 材料科学与工程学院,成都,610064;
3.四川大学 材料科学与工程学院,成都,610064;
4.四川大学 材料科学与工程学院,成都,610064;
5.四川大学 材料科学与工程学院,成都,610064;
6.四川大学 材料科学与工程学院,成都,610064
采用Al和CdS双靶共溅射的方法,调控Al和CdS源的沉积速率,制备出不同Al掺杂浓度的CdS∶Al薄膜.通过XRD、SEM、AFM、紫外-可见透射光谱分析、常温霍尔测试对CdS∶ Al薄膜的结构、形貌、光学和电学性质进行表征.XRD结果表明,不同Al掺杂浓度的CdS∶Al薄膜均为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,并且在(002)方向择优生长.SEM和AFM结果表明,CdS∶Al薄膜的表面均匀致密,表面粗糙度随着Al掺杂浓度的增加略有增加.紫外-可见透射光谱分析表明,CdS∶Al薄膜禁带宽度在2.42～2.46 eV之间,随着Al掺杂浓度的增加而略微减小.常温霍尔测试结果证明,掺Al对CdS薄膜的电学性质影响显著,掺Al原子浓度3.8％以上的CdS薄膜,载流子浓度增加了3个数量级,电阻率下降了3个数量级.掺Al后的CdS薄膜n型更强,有利于与CdTe形成更强的内建场,从而提高太阳电池效率.用溅射方法制备的CdS∶Al薄膜的性质适合用作CdTe薄膜太阳电池的窗口层.
引用： 王佛根, 陈蕴璐, 任胜强, 张家远, 武莉莉, 冯良桓 磁控溅射法制备的CdS∶Al薄膜的性质研究. 无机材料学报, 2017, 32(4): 413-417. doi: 10.15541/jim20160357
参考文献：

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