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无机材料学报, 2017, 32(3): 326-330.
10.15541/jim20160332
PLZST陶瓷衬底上La0.7Sr0.3MnO3薄膜生长及其磁性能和电输运特性研究

肖玲 1, , 陈莹 2, , 刘振 3, , 王根水 4, , 温志渝 5, , 董显林 6,

1.中国科学院上海硅酸盐研究所,无机功能材料与器件重点实验室,上海 200050;
2.中国科学院上海硅酸盐研究所,无机功能材料与器件重点实验室,上海 200050;
3.中国科学院上海硅酸盐研究所,无机功能材料与器件重点实验室,上海 200050;
4.中国科学院上海硅酸盐研究所,无机功能材料与器件重点实验室,上海 200050;
5.重庆大学微系统中心,重庆,400044;
6.中国科学院上海硅酸盐研究所,无机功能材料与器件重点实验室,上海 200050
采用磁控溅射法在PLZST陶瓷衬底上制备了不同厚度的LSMO薄膜,并对其微结构、磁性能及电输运特性进行了研究.结果表明,LSMO薄膜具有单一钙钛矿结构,晶粒均匀,表面平整,其中20 nm厚LSMO薄膜粗糙度仅为2.93 nm.在10~300 K温度范围内,LSMO薄膜均具有大的磁电阻效应,20 nm厚的LSMO薄膜磁电阻温度稳定性优异.随着薄膜厚度的增加,薄膜的居里温度、金属绝缘体转变温度、磁化强度和导电性能降低.这可能是由于Pb、Sn、Zr等离子扩散进入LSMO薄膜中,导致MnO6八面体畸变造成的.
关键词： LSMO薄膜   PLZST陶瓷   磁电阻   扩散
引用： 肖玲, 陈莹, 刘振, 王根水, 温志渝, 董显林 PLZST陶瓷衬底上La0.7Sr0.3MnO3薄膜生长及其磁性能和电输运特性研究. 无机材料学报, 2017, 32(3): 326-330. doi: 10.15541/jim20160332
参考文献：

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