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无机材料学报, 2017, 32(3): 281-286.
10.15541/jim20160324
冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究

李鹏廷 1, , 王凯 2, , 姜大川 3, , 任世强 4, , 谭毅 5, , 安广野 6, , 张磊 7, , 郭校亮 8, , 王峰 9,

1.大连理工大学材料科学与工程学院,大连116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连116024;
2.大连理工大学材料科学与工程学院,大连116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连116024;
3.大连理工大学材料科学与工程学院,大连116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连116024;
4.大连理工大学材料科学与工程学院,大连116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连116024;
5.大连理工大学材料科学与工程学院,大连116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连116024;
6.大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司,青岛,266200;
7.大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司,青岛,266200;
8.大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司,青岛,266200;
9.大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司,青岛,266200
以工业硅为原料,利用介质熔炼、定向凝固和电子束熔炼三种熔体处理技术对工业硅中的B、P和金属杂质进行了去除,制备出了99.9999%级多晶硅材料,其中,杂质B和P的含量分别低于0.20 ppmw(parts per million(weight),百万分之一质量),金属杂质总含量(TM)低于0.23 ppmw.研究发现,介质熔炼去除杂质B的过程中,熔体中发生氧化还原反应可以有效去除大部分的杂质Al和Ca;电子束熔炼过程中,利用饱和蒸气压原理可以有效去除挥发性杂质P、Al、Ca,同时降束诱导多晶硅定向凝固,可将其他金属杂质进一步去除.本研究通过各技术间的耦合除杂,减少了冶金法提纯多晶硅的工序,为连续化、规模化生产提供了技术支撑.
引用： 李鹏廷, 王凯, 姜大川, 任世强, 谭毅, 安广野, 张磊, 郭校亮, 王峰 冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究. 无机材料学报, 2017, 32(3): 281-286. doi: 10.15541/jim20160324
参考文献：

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