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中国表面工程, 2017, 30(2): 71-78.
10.11933/j.issn.1007-9289.20161114003
Mo离子注入和离子渗硫对TiN涂层微观结构和表面性能的影响

田斌 1, , 刘宝辉 2, , 孟春玲 3, , 侯媛媛 4, , 岳文 5,

1.北京工商大学材料与机械工程学院,北京,100048;
2.北京工商大学材料与机械工程学院,北京,100048;
3.北京工商大学材料与机械工程学院,北京,100048;
4.北京工商大学材料与机械工程学院,北京,100048;
5.中国地质大学(北京)工程技术学院,北京,100083
为进一步改善氮化钛涂层的摩擦学性能,分别采用高剂量Mo离子注入和低温离子渗硫技术对TiN涂层表面进行处理.采用扫描电子显微镜(SEM)、光学形貌仪、扫描俄歇系统(SAM)、X射线衍射仪(XRD)和纳米压痕仪等分析TiN涂层处理前后的表面形貌、元素分布、微观结构和纳米硬度.利用球盘摩擦磨损试验机在干摩擦条件下考察涂层的摩擦学性能,并利用光学形貌仪和SEM进行磨损表面分析.结果表明,大剂量Mo离子注入后,TiN涂层表面Mo离子深度接近200 nm,涂层硬度明显降低,涂层磨损剧烈程度得到显著改善,磨损率和摩擦因数分别降低约35％和40％;低温离子渗硫复合处理后,TiN涂层表面溅射明显,Mo的深度降低约50％,摩擦学性能难以进一步明显改善.
关键词： 离子注入   钼   氮化钛   磨损
引用： 田斌, 刘宝辉, 孟春玲, 侯媛媛, 岳文 Mo离子注入和离子渗硫对TiN涂层微观结构和表面性能的影响. 中国表面工程, 2017, 30(2): 71-78. doi: 10.11933/j.issn.1007-9289.20161114003
参考文献：

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