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中国表面工程, 2017, 30(2): 56-62.
10.11933/j.issn.1007-9289.20160923001
Cr基及其化合物过渡层对TiCN涂层性能的影响

李方正 1, , 王昆仑 2, , 赵继凤 3, , 郑小燕 4, , 辛艳青 5, , 杨田林 6,

1.山东大学(威海)空间科学与物理学院,山东威海,264209;
2.山东大学(威海)空间科学与物理学院,山东威海,264209;
3.山东大学(威海)空间科学与物理学院,山东威海,264209;
4.山东大学(威海)空间科学与物理学院,山东威海,264209;
5.山东大学(威海)空间科学与物理学院,山东威海,264209;
6.山东大学(威海)空间科学与物理学院,山东威海,264209
为研究过渡层材料及结构对TiCN涂层性能的影响,设计3种Cr基及其化合物过渡层,利用多弧离子镀技术制备TiCN涂层.膜系分别为Cr/TiCN、Cr/CrN/TiCN和Cr/CrN/CrCN/TiCN.利用SEM、XRD、纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损试验机和球磨仪对涂层的微观结构和性能进行表征.结果表明:随着过渡层由单层Cr依次加入CrN和CrCN,涂层原有的柱状晶生长被抑制并最终消除.与具有Ti过渡层的TiCN相比,涂层不再具有明显择优取向,(111)峰强度大大减弱而(200)峰发生宽化.具有CrN和CrCN过渡层的样品硬度和附着力明显高于以单层Cr为过渡层的样品,Cr/CrN/CrCN/TiCN膜系硬度和附着力最高,分别为(30.11±0.34) GPa和(37.21±0.46) N.摩擦磨损试验结果表明:CrCN过渡层的引入显著提升了涂层耐磨性,其对应样品摩擦因数最低,达到0.111,并在球磨测试中表现稳定,而其它膜系均出现不同程度的磨损形貌.
关键词： 过渡层   TiCN涂层   硬度   附着力   耐磨性
引用： 李方正, 王昆仑, 赵继凤, 郑小燕, 辛艳青, 杨田林 Cr基及其化合物过渡层对TiCN涂层性能的影响. 中国表面工程, 2017, 30(2): 56-62. doi: 10.11933/j.issn.1007-9289.20160923001
参考文献：

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