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材料导报, 2017, 31(5): 158-164.
10.11896/j.issn.1005-023X.2017.09.022
墨水直写、喷墨打印和激光直写技术及其在微电子器件中的应用

陈燎 1, , 唐兴伟 2, , 周涵 3, , 范同祥 4,

1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200240;
2.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200240;
3.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200240;
4.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200240
直写技术是一种新型微加工技术,其加工过程不需模板并可在亚微米至厘米范围实现材料加工成型.墨水直写、喷墨打印和激光直写作为最常用的直写技术,具有强大的二维、三维成型能力和优异的成型精度,可实现金属、陶瓷、聚合物、水凝胶等复杂构型的程序化构筑,被广泛应用于微电子、组织工程、微流控等领域.阐述了这3种直写技术的构型原理和材料选择,重点介绍了其在微电子器件制造中的应用,讨论了当前研究的难点和热点问题,并对其未来发展趋势进行了展望.
关键词： 直写技术   微电子制造   电极
引用： 陈燎, 唐兴伟, 周涵, 范同祥 墨水直写、喷墨打印和激光直写技术及其在微电子器件中的应用. 材料导报, 2017, 31(5): 158-164. doi: 10.11896/j.issn.1005-023X.2017.09.022
参考文献：

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