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材料工程, 2017, 45(6): 31-35.
10.11868/j.issn.1001-4381.2015.000612
钛合金表面Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜制备及性能

林松盛 1, , 周克崧 2, , 代明江 3, , 石倩 4, , 胡芳 5, , 侯惠君 6, , 韦春贝 7, , 刘建武 8,

1.华南理工大学 材料科学与工程学院,广州 510641;广东省 新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州 510650;广东省新材料研究所 广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510650;
2.华南理工大学 材料科学与工程学院,广州 510641;广东省 新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州 510650;广东省新材料研究所 广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510650;
3.广东省 新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州 510650;广东省新材料研究所 广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510650;
4.广东省 新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州 510650;广东省新材料研究所 广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510650;
5.广东省 新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州 510650;广东省新材料研究所 广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510650;
6.广东省 新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州 510650;广东省新材料研究所 广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510650;
7.广东省 新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州 510650;广东省新材料研究所 广东省现代表面工程技术重点实验室, 广州 510650;
8.中国航发 湖南动力机械研究所,湖南 株洲,412002
采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多元多层膜.用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、球-盘摩擦磨损试验仪、砂粒冲刷试验仪和3D表面形貌仪,研究多层膜的表面及截面形貌、相结构、厚度、硬度、膜/基结合力、摩擦磨损性能和抗砂粒冲蚀性能.结果表明:所制备Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜厚度约为5.8μm,维氏显微硬度为28.10GPa,膜基结合力为56N;TC11钛合金表面镀多层膜后耐磨性提高了一个数量级,体积磨损率由7.06×10-13m3·N-1·m-1降低到3.03×10-14m3·N-1·m-1;多层膜软硬层交替的结构,受砂粒冲蚀时裂纹扩展至金属软层时应力的缓冲而出现偏转,对TC11钛合金有良好的抗砂粒冲蚀保护作用.
引用： 林松盛, 周克崧, 代明江, 石倩, 胡芳, 侯惠君, 韦春贝, 刘建武 钛合金表面Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜制备及性能. 材料工程, 2017, 45(6): 31-35. doi: 10.11868/j.issn.1001-4381.2015.000612
参考文献：

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